晶圆加工工具用温度传感器

停止加热工具的内壁，转而加热晶圆本身 让半导体晶圆达到合适的温度其实是一项需要精确控制的操作。但如果使用普通的红外灯的话，那基本上就是在浪费能量——因为这些灯会将热量向各个方向散发，这样一来，大量能量就被用来加热工具的内壁而已。 这无疑是一种能源的浪费。更糟糕的是，这样的设计还会使设备的外壳变成一...