停止加热工具的内壁，转而加热晶圆本身 让半导体晶圆达到合适的温度其实是一项需要精确控制的操作。但如果使用普通的红外灯的话，那基本上就是在浪费能量——因为这些灯会将热量向各个方向散发，这样一来，大量能量就被用来加热工具的内壁而已。 这无疑是一种能源的浪费。更糟糕的是，这样的设计还会使设备的外壳变成一...

在晶圆加工过程中，即使软烘或硬烘过程中的温度偏差只有半度，也足以导致关键尺寸发生变化，还会在蚀刻后留下残留物，进而影响成品率。为此，我们设计了专门的红外灯座，以确保晶圆处理过程中的温度始终处于可控范围内，从而实现循环作业时的稳定性。 重要的是，该灯座与近红外石英灯配合使用，能够将热量直接传递到晶圆...