微型LED晶圆干燥加热器

生产线上，一个热点就可能毁掉整托Micro LED外延晶圆。软烘和硬烘不仅仅是屏幕上的参数，它们是干净图案和废品批次之间的分界线。因此，我们设计了Micro LED晶圆干燥加热器，以满足工厂对热处理步骤的严格要求：无异常，无颗粒，无意外停机。 技术层面重点 我们保证晶圆台面上的热均匀性达到...