柔性电子晶圆加热器

在生产线上，一旦温度控制不准确，柔性基板和薄膜层就会出问题。哪怕温度略有偏差，关键尺寸也会发生变化。如果使用过高的温度进行烘烤，那么好不容易维持稳定的光阻层结构也会被破坏。不均匀的温度分布会导致残留物难以清除，而低温下的封装过程则可能产生无法避免的空洞。 关键因素 我们设计这款柔性电子晶圆加热器，...