用于晶圆的精密红外传感器

如何保持晶圆洁净无瑕：关于红外加热的真相 如果您在操作100级洁净室，那么您一定知道其中的麻烦。哪怕只有一小片灰尘或微小的颗粒进入晶圆表面，或者有气体从组件中泄漏出来，整个批次的产品就会报废。 在加热硅晶圆时，绝不能用普通的灯源。因此，我们选择使用高纯度的合成石英作为红外灯的材料。只有这样，才能确...