陶瓷红外加热面板

在制造车间，软烘烤和硬烘烤是设定热预算的关键环节，这对控制关键尺寸至关重要。即使在晶圆上滑动温度1.5°C，你的光刻窗口也会开始消失。我们设计了陶瓷红外加热面板，以消除这种不确定性。 技术上重要的事项 它是短波红外线，通过密集的陶瓷基质运行，因此热量快速而准确地作用于所需位置。你可以在活性区域内实...