化学洗浄後にMEMSセンサーワークを乾燥させる際には、熱が必要です。しかも、できるだけ早く熱を与える必要があります。しかし、問題点もあります。可燃性や爆発性のある蒸気が存在する場合、通常の赤外線ランプは単なるツールとしてではなく、危険な存在となります。
誰も実験室で火事が起きることを望みません。そのため、私たちは違った方法を採用しています。つまり、加熱要素を安全な領域に置き、周囲の空気から完全に隔離する特殊な封止システムを使用しているのです。
有害物質の侵入を防ぐ
赤外線石英管を、サファイアや高品質の石英で作られた耐薬品性の高いケースで覆っています。これはまるで盾のようなもので、揮発性有機化合物（VOCs）がその高温のフィラメントに触れるのを防ぎます。万が一、密封が破れても、ガスは加熱要素に直接当たるのではなく、制御された空間に流れ込みます。接続部から何も漏れないように、高温ブレージングや特殊なガラスと金属の接着剤を使用しています。これにより、安心して使用できます。
熱の管理
問題は、高強度の赤外線ランプが非常に高温になることです。外殻が過度に熱くなると、周囲の蒸気が引火する可能性があります。これを防ぐために、不活性ガスや真空を充填した二重壁のジャケットを使用します。これにより、赤外線がワークを乾燥させるのに役立ちますが、外表面の温度はコントロールされます。ただし、適切なバランスを見つける必要があります。絶縁材を過度に多用すると、ランプの内部が過度に熱くなります。また、出力を強くしすぎると、フィラメントが早く劣化してしまいます。
設置方法
私たちは、連続的な稼働に耐えられるように、このヒーターを設計しています。取り付けブラケットも静電気を発生しない材料で作られているので、設置時にスパークが発生する心配はありません。最後に、配線を確認してください。それが筐体の熱負荷に適しているかどうかを確認してください。そうでなければ、絶縁材が劣化し、ショートする可能性があります。そうなると、また最初からやり直しになってしまいます。