Aletinizin duvarlarını ısıtmayı bırakın (ve yerine wafleri ısıtmaya başlayın)
Bir yarı iletken waferini doğru sıcaklığa getirmek oldukça hassas bir işlemdir. Ancak standart kızılötesi lambalar kullanılıyorsa, aslında kaybedilen bir mücadele içinde olursunuz. Bu lambalar ısıyı her yöne yaydığı için, enerjinizin büyük bir kısmı sadece aletinizin iç duvarlarını ısıtmakla harcanır. Bu da enerji israfı demektir. Daha da kötüsü, bu durum aletin gövdesini devasa bir radyatör haline getirir ve bakım sırasında operatörlerin yaralanmasına neden olabilir. Bu hiç de ideal değildir.
Çözüm oldukça basit: Isıyı her yöne yaymayı bırakın ve hedefe yönlendirin. Bunu çözmek için yönlendirilebilir kızılötesi ısıtma sistemleri kullanıyoruz.
Nasıl çalışır?
Standart bir kuvars lambasını düşünün; bu lamba ısıyı 360 dereceye yayarak ışık üretir. Wafer işleme aletlerinde ise bu enerjinin yarısı sadece metal duvarlara gider. Biz bu enerjiyi daha iyi yönlendirmek için özel yansıtıcılar ve filtreler kullanıyoruz. Böylece ısı, tam da gitmesi gereken yere, yani wafer yüzeyine yönlendirilir. Böylece aletin ısınma hızı yüksek kalır, ancak aletin geri kalan kısımları soğuk kalır. Artık aletin iç kısmını fırın haline getirmenize gerek kalmaz.
Zor olan kısım: Doğru hizalamayı sağlamak
Bu lambalar dar alanlara yerleştirilmek üzere tasarlanmıştır, ancak doğrudan takılıp kullanılabilecek şekilde değildir. Odak noktası çok önemlidir. Eğer lamba hatta küçük bir miktar bile ekseni dışına çıkarsa sorunlar ortaya çıkar. Waferde soğuk bölgeler, duvarlarda ise sıcak bölgeler oluşur. Bu durum için oldukça hassas bir ayarlama gereklidir ve dikkatli bir uygulama şarttır.
Ayrıca hava akışı da önemlidir. Yüksek güçlü yönlendirilebilir lambalar güçlüdür, ancak lambanın kendisi de ısınır. Eğer iç soğutma sistemi bu ısıyı uzaklaştırmak için yeterince iyi çalışmazsa, zamanla bağlantı noktaları zarar görebilir veya yansıtıcı kaplamalar bozulabilir. Bu yüzden güç yoğunluğunu uygun seviyede tutmak gerekir.
Ekip için avantajlar
Isının aletin gövdesine sızmaması sayesinde her şey daha kolay hale gelir. İnsanların güvende kalması için her bir iç panel üzerine ağır yalıtım malzemeleri koymaya gerek kalmaz. Aletin bakımı da çok daha kolay hale gelir. Odunu açıp parçaları değiştirebilirsiniz; metalin cildinizi yakmayacak kadar soğumasını beklemek zorunda kalmazsınız. Bu, daha güvenli ve daha hızlı bir çalışma şeklidir.