جلوگیری از خراب شدن ویفرها توسط لامپهای مادون قرمز
در تأسیسات تولید تراشههای پرحجم، خراب شدن یک لامپ مادون قرمز، مشکل سادهای نیست؛ بلکه یک فاجعه است.
وقتی لوله کوارتز میشکند، تکههای شیشهای و گاز هالوژن به سمت ویفرها میافتند. یک لامپ خراب میتواند در عرض چند ثانیه، کل محموله ویفرها را از بین ببرد. ما زمان زیادی را صرف یافتن راههایی برای جلوگیری از این اتفاق کردهایم؛ این کار عمدتاً از طریق تعیین فاصله مناسب بین لامپ و ویفرها انجام میشود.
«فاصله ایمن»
نمیتوانید لامپ را مستقیماً در کنار ویفر قرار دهید؛ بلکه به فاصله کافی برای جلوگیری از تماس مستقیم نیاز دارید.
ما معمولاً فاصله ایمنی را بر اساس میزان توانی که به لامپ وارد میشود و دمای حاصل، تعیین میکنیم. چرا؟ چون اجسام در دماهای بالا تحت تأثیر قرار میگیرند. اگر لوله کوارتز در دماهای بالا خم شود، این فاصله از تماس مستقیم با ویفر جلوگیری میکند.
البته، میتوانید این فاصله را کم کنید تا گرمای بیشتری انتقال یابد؛ اما این کار خطرناک است. یک خمیدگی کوچک میتواند منجر به آسیب فیزیکی به ویفرها شود. مطمئن شوید که براکتهای نصب لامپ به خوبی محکم شدهاند تا این فاصله حفظ شود.
حفظ پاکیزگی
ما از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا استفاده میکنیم تا از خروج گازها به حداقل برسد. اما فکر میکنیم استفاده از یک سپر کوارتزی بین لامپ و ویفر نیز راهکار خوبی باشد.
میتوانید آن را مانند یک محافظ در نظر بگیرید؛ اگر لامپ خراب شود، این سپر از تکههای شیشهای جلوگیری کرده و ویفرها سالم باقی میمانند.
همچنین، ما تلاش زیادی برای جلوگیری از نشت گازهای هالوژن از الکترودها انجام دادهایم. اگر کارخانه شما ۲۴ ساعته کار میکند، حتماً تنشات موجود در اتصالات را بررسی کنید؛ اتصالات ضعیف باعث ایجاد ارتعاشات میشوند و این ارتعاشات میتوانند لامپها را سریعتر از حد معمول خراب کنند.
توان انرژی در برابر آرامش ذهنی
لامپهای با توان بالا برای سرعت بیشتر در فرآیند تولید مناسب هستند؛ اما توان بالاتر به معنای فشار داخلی بیشتری است.
این یک تعادل دشوار است؛ باید گرمای تولید شده توسط لامپ را با توانایی سیستم خنککننده در کنترل کرد. اگر سیستم خنککنندگی نتواند گرمای تولید شده را از انتهای لامپ دور کند، کوارتز تحت فشار قرار گرفته و در نهایت ترک خواهد خورد.
ما جداولی از رابطه بین توان لامپ و فاصله آن از ویفر تهیه کردهایم؛ این جداول به شما کمک میکنند تا بهترین فاصله را پیدا کنید تا گرمای مورد نیاز را داشته باشید، بدون اینکه نگران خراب شدن لامپ باشید.