なぜ、無鉛硬化処理においてIR反射器が重要なのか
半導体業界では、無鉛化や省エネルギー化への取り組みが進んでいます。長年にわたり、対流式オーブンが使用されてきましたが、正直言って、大量の空気を加熱するのは莫大なエネルギーの無駄遣いです。
そこで、私たちは赤外線（IR）を利用した硬化処理に移行しました。これにより、ウェハ表面に直接熱が届きます。ただし、単純にランプを設置するだけでは不十分です。適切な反射器が必要なのです。
エネルギーの無駄遣いを止めよう
IRランプの仕組みを考えてみましょう。ランプからはあらゆる方向に熱が放出されます。反射器がないと、そのエネルギーの半分は装置の壁を温めるだけで、完全に無駄になります。
私たちは、その余分なエネルギーを捕捉し、再びウェハに戻すように反射器を設計しています。これにより、より多くの熱をウェハに与えることができ、システムにより多くのワット数を供給する必要がありません。これにより、処理時間が大幅に短縮されます。
実際に耐えられる素材
私たちは安価なコーティング材を使用しません。清潔さを保ち、環境規制を満たすために、高純度のアルミニウムや金メッキされた基材を使用しています。
これらの素材は、短波長のIRランプからの厳しい熱負荷にも耐えられ、変形したり曲がったりすることはありません。私たちは「鏡面反射」を重視しています。つまり、光が鏡のように反射することです。光が散乱すると、ホットスポットが生じ、それが原因でウェハが割れてしまいます。誰もそんなことは望みません。
実際の工場環境
しかし、これは「接続すれば終わり」というような簡単なアップグレードではありません。高反射率の表面を使用すると、多くの熱が一箇所に集中します。もし冷却ファンが十分に機能しなければ、問題が発生します。過度な熱密度により、配線が焼損したり、装置が変形したりすることもあります。
つまり、焦点の位置やウェハまでの距離を正確に調整する必要があります。
IR硬化処理を採用することで、化学溶剤を使わずに、クリーンルームの炭素排出量を削減できます。これは、設備と戦わずに無鉛基準を達成する最も簡単な方法です。