
Vacuümbeschikbare infraroodverwarmers: de echte oplossing voor high-end waferproductielijnen
We hebben deze vacuümbeschikbare infraroodverwarmers ontwikkeld om ze te kunnen gebruiken in de extreme omstandigheden van geavanceerde halfgeleiderproductielijnen. Ze zorgen voor een consistente, hoge warmtedichtheid, precies waar het nodig is.
We hebben onze apparaten vergeleken met die van grote internationale merken, rechtstreeks in de productielijnen. De cijfers spreken voor zich.
Over vermogen, spanning en grootte
Het hart van de verwarmer is een kwartsbuis van 300 mm. De afmetingen zijn zo gekozen dat de buis gemakkelijk in standaardapparatuur kan worden geplaatst, zodat u uw hele installatie niet hoeft aan te passen.
De invoerspanning van 400 V is geen willekeurige keuze. Het maakt het mogelijk om veel stroom door het compacte apparaat te laten stromen, waardoor u de benodigde warmtedichtheid krijgt voor een snelle thermische reactie.
Een vermogen van 2500 W zorgt ervoor dat de temperatuur snel kan worden opgevoerd en behouden, zelfs onder vacuüm. Maar er is één nadeel: de koeling van de kamer moet goed werken. Als de warmtewisselaar niet goed is afgestemd, zal u de extra hitte in de kamer voelen.
De details die belangrijk zijn
Binnenin de buis zorgt het halogeenproces voor stabiliteit van het filament. Hierdoor kan het filament langdurig worden gebruikt, zelfs na duizenden warmtestringsprocessen.
De kwartsbekleding is speciaal gekozen vanwege zijn hoge transmissie in het kortgolvige infraroodgebied. Dit zorgt voor directe verwarming, zonder extra massa.
Een beschermende laag voorkomt contaminatie en uitstoot onder vacuüm, zodat de kamer schoon blijft.
En de R7s-aansluiting? Dat is gewoon een slimme en praktische oplossing. Hij zorgt ervoor dat de lamp goed wordt bevestigd, de stroom goed wordt geleid en dat het vervangen van de lamp eenvoudig gaat.
Wat dit betekent voor uw waferproductielijn
Op een high-end waferproductielijn moet de verwarmer precieze, gefocuste warmte leveren, zonder dat er partikels worden gegenereerd of dat er storingen optreden in het proces.
Onze vacuümbeschikbare infraroodverwarmer doet precies dat. Hij richt de energie precies waar het nodig is, verkort de cycletijden en bespaart tijd op onderhoud.
Hij is ontworpen om te werken in de strenge omstandigheden van een schone ruimte, waar betrouwbaarheid cruciaal is.
Als u wilt zien wat de verwarmer kan doen, kunnen we hem in uw productielijn plaatsen. Laat de cijfers dan voor zichzelf spreken.