スマートファブの加熱システムを正しく設計するには
もし、インダストリー4.0向けのスマートファブを構築しているのであれば、従来の加熱方法ではもはや不十分だと気づいていることでしょう。データシステムと連携できる加熱装置が必要です。
そこで、クリーンルーム内の作業台用には赤外線加熱システムを使用します。部屋中の空気を温めるのにエネルギーを浪費する代わりに、赤外線は直接対象物を温めます。これにより、効率的でクリーンな加熱が実現されます。
加熱を「スマート」にするためには、生産ラインを真にデジタル化するためには、加熱システムがPLC制御システムと連携して動作する必要があります。赤外線ランプの利点は、電圧を変えるとすぐに反応する点です。PIDコントローラーと連携させることで、実時間で加熱がどのように行われているかを確認できます。これにより、温度が適切かどうかを正確に把握できます。
しかし、高出力の赤外線ランプは、迅速に温度を上げるのには優れていますが、その分、問題も伴います。小さなスペースに多くの熱を集中させると、問題が発生します。ケースの材料を適切に選ばないと、ウェハーや基板が変形したり、さらに悪いことにガスが発生したりすることもあります。これはクリーンルームにとって大きな問題です。そのため、ケースが最高温度に耐えられることを確認する必要があります。
なぜ私たちは赤外線を利用するのか？
一般的に、抵抗加熱はいくつかの理由から避けられます。第一に、接触がないため、部品が汚染される心配がありません。第二に、非常に速いです。ボタンを押すだけで、数秒で加熱が完了します。第三に、スペースを節約できます。赤外線アレイは、大柄な対流式オーブンよりもはるかにコンパクトです。
本当の威力は、これらを工場のデジタルシステムに接続した時に発揮されます。電力消費量を監視し、ランプが壊れそうになった時にすぐに交換できます。そうすれば、火曜日の朝にライン全体が停止するような事態を避けることができます。