ウェーハの温度を正しくコントロールし、何も壊さないようにするにはどうすればいいのか？ もし生物センサーの製造に携わったことがあるなら、その難しさはご存知でしょう。ウェーハの表面の温度を正確に制御しようとしますが、基材が過熱してしまうのを恐れています。まさに綱渡りのような状況です。 正しく制御するためには、金メッキされた反射器を備えた赤外線ランプを使用します。その仕組みは簡単です。無駄なエネルギーを使わず、各光子を正確に目的の場所に送り込むのです。 なぜ金を使うのか？ 多くの人はアルミニウム製の反射器から始めますが、問題は、アルミニウムが多くのエネルギーを吸収してしまうことです。一方、金は異なります。長波長の赤外線をうまく反射し、直接ウェーハに戻します。 これは、装置を見栄え良くするためではありません。むしろ、より効率的に熱を制御するためです。このようにエネルギーを集中させることで、必要な高い温度を達成しつつ、実際に消費する電力を減らすことができます。 熱密度の扱い ランプを選ぶ際には、エネルギー密度が重要です。金メッキによって熱が集中するため、硬化や接合の際の時間が大幅に短縮されます。 しかし、注意点があります。反射器の位置が少しでもズレると、ホットスポットが発生します。そして、この業界ではホットスポットは大変な問題です。センサーの校正が狂い、全体の品質が台無しになってしまいます。 彼らが教えてくれないこと 高反射率のシステムは熱を効率的に送り込むのに優れていますが、同時に熱を閉じ込めるのにも優れています。金メッキが多くのエネルギーを反射するため、空気の流れが悪いと、ランプのケースが非常に熱くなってしまいます。 仕様書に記載されている理論上のワット数だけを信頼してはいけません。冷却ファンが実際の熱負荷に対応できるかを確認してください。冷却を怠ると、ランプが破損してしまいます。 あと、自分のためにも、高温に耐えられる配線を使用しましょう。標準的な配線を使うと、反射器の端で絶縁体が溶けてしまうのは最悪のことです。