揮発性化学物質の近くで赤外線ヒーティングを使用する際の安全対策
半導体工場を運営している方なら、この問題はよくわかるでしょう。赤外線ランプが、率直に言って熱を嫌う化学洗浄剤のすぐそばで動作しています。そのような場所でランプをそのまま使うのは、問題を招くだけです。
これを解決するために、ランプを特殊な石英ガラス製のシールドで覆います。これは、熱と化学物質が接触しないようにする物理的な壁の役割を果たします。
なぜ石英なのか？
高純度の融成石英を使用するのには、単純な理由があります。それは、高温になっても壊れないからです。普通のガラスなら、ランプが温まるとすぐに破損してしまいます。
石英シールドは、ランプの電気端子やフィラメントを守る役割を果たします。最も大きな利点は、「フラッシュオーバー」を防げることです。もし化学物質が漏れ出ても、シールドがその揮発性ガスをランプの最も熱い部分から遮断してくれます。これは、ハードウェアを守るだけでなく、工場全体が破壊されるのを防ぐためでもあります。
デメリット
しかし、完璧なものはありません。
石英の利点は、短波長の赤外線をほとんど通過させることができる点です。熱は正しい場所、つまりウエハーや基板上に届きます。ただし、効率が少し低下します。少量の熱がガラス壁に閉じ込められてしまいます。でも、それほど問題ではありません。通常は、ワット数を少し上げたり、焦点距離を調整することで、目標温度を維持できます。
設置方法
これらのシールドは、既存の工場の装置に簡単に取り付けられるように設計されています。全体の設備を再構築する必要はありません。
しかし、人々がよく間違えるのが、シール部分です。
石英管の端々は、密閉されていなければなりません。もし熱サイクルの際にシールが破損してしまうと、安全障壁としての機能は果たせなくなります。私たちは専用のガスケットを使用して漏れを防ぎますが、それでも定期的な点検が必要です。ガスケットを点検する方が、予期せぬ停止による被害を防ぐためには、ずっと安上がりです。