より多くの熱を得て、無駄を減らす：金コーティングされたツインチューブランプの魔法
半導体製造工場では、タイミングが全てです。加熱サイクルは迅速かつ極めて正確でなければなりません。多くの人々は単により多くの電力を使うことで問題を解決しようとしますが、私たちは少し違った方法を採用しています。金コーティングされたツインチューブランプを使用することで、大量の電力を無駄にすることなく、かつ工場の炭素排出量を増やすこともありません。
なぜ金なのか？ 通常の石英ランプを考えてみてください。その熱の多くは空気中に逃げてしまいます。これは、実際には使っていないエネルギーの代金を支払っているようなものです。発光部に金コーティングを施すことで、その赤外線放射を前方向に向けることができます。そうすることで、熱は必要な場所、つまりウェーハ上に直接届きます。これは、機械のケースを温めるのではなく、効率的に熱を利用する方法です。
そして「ツインチューブ」というのは？ これはスペースを節約するためのものです。物理的なサイズを大きくすることなく、加熱面積を2倍にしています。2本のフィラメントを並べることで、同じ小さなサイズでより多くのワット数を得ることができます。狭い作業スペースで作業する場合、これは非常に便利です。
電力に関する詳細 これらのランプは通常、高電圧環境で使用されます。これにより、消費電流が低く抑えられ、太いケーブルを使う必要もありません。ただし、スイッチを入れた瞬間の急激な電流の増加に対応できる電源があることが重要です。
金層によって短波帯域での放射率が変わるため、温度上昇が速くなります。ほんとうに速いのです。数秒で目標温度に到達します。ランプが温まるのを何分も待つ必要がないため、1枚のウェーハあたりの消費電力量が大幅に削減されます。
ただし、注意点もあります 確かに、これらのランプは効率的ですが、メンテナンスが少し大変です。汚染を嫌います。もしクリーンルームの密封性能が低下し、油やほこりが金コーティングに付着すると、「ホットスポット」が発生し、ランプが予定より早く壊れてしまいます。そのため、厳格な真空状態や不活性ガス環境を維持する必要があります。
しかし、それをうまく行えば、「グリーンファクトリー」を実現するのは簡単です。製造プロセスの最初の段階でエネルギー消費を削減できるのは、誰にとっても良いことです。